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波胆预测承担的“纳米计量体系研究与标准器均匀性稳定性研究”子课题顺利通过绩效评价
作者: 来源:本站 发布时间:2021-02-08 13:18 浏览数量:
      1月27日,波胆预测承担的“十三五”国家重点研发计划“国家质量基础的共性技术研究与应用(NQI)”重点专项“纳米几何特征参量计量标准器研究及应用示范”子课题“纳米计量体系研究与标准器均匀性稳定性研究”顺利通过绩效评价。鉴于当前疫情防控工作需要,绩效评价采取了网络会议方式。验收专家组由来自全国产品几何技术规范标准化技术委员会、哈尔滨工业大学、西安工业大学、广东科学院半导体研究所等单位的5位专家组成。
      会议由西安微电子技术研究所饶张飞研究员主持,波胆预测课题组进行了汇报,专家组认真查阅了绩效评价材料,经过讨论和质询,专家组一致认为:提交的绩效评价材料齐全,组织管理规范,符合绩效评价要求;完成《纳米计量体系研究报告》1份、论文1篇、申请专利1项;完成了课题任务书规定的全部研究内容,达到了考核指标要求,同意该课题通过绩效评价。
       “纳米计量体系研究与标准器均匀性稳定性研究”子课题深度剖析了由纳米几何量计量基准、计量标准、工作计量器具构成的量值溯源体系,为保证测量结果准确可靠、完善全国量值溯源系统及纳米相关产业转型升级提供了理论基础,详实阐述了纳米几何特征参量计量标准器的关键指标和作用,完成了纳米线宽、栅格计量标准器均匀性稳定性研究,满足了标准器研制的预期目标,对纳米计量标准器终端用户具有指导意义。
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